1.在HVAC系统中的应用
可根据洁净室的体积，选用适当的臭氧发生器，将外置式臭氧发生器通过接管介入HVAC系统的送回风主管道的合适位置，其PLC控制系统可预置消毒时间等工艺参数。消毒时，关闭约90%新风进口阀门和回风对外排放阀门，使整个被消毒的洁净室空气通过净化系统风道形成循环状态。每日开机1小时进行空气灭菌，可替代化学药剂熏蒸及设备表面灭菌需开机2-2.5小时。也可在洁净区内任何一个具有送回风口洁净室内单机使用，作局部灭菌。
2.传递窗作用
物料在不同级别的洁净室之间或非洁净室与洁净室之间传递，可用专门设计的带臭氧发生器传递窗。
3.对物料、工装模具、工作服等的灭菌
可根据灭菌对象选用臭氧常温灭菌箱或臭氧灭菌烘干箱，如用于粉针生产线中铝塑复合盖灭菌的臭氧常温灭菌箱，解决以往水洗或酒精浸泡后，再经烘箱烘干的多道工序。
4.密闭容器管道灭菌
对输液、输料管道、过滤系统、物料储罐、反应罐等密闭容器消毒灭菌，可选用**臭氧发生器讲自备无油气泵制取百级净化压力空气输入臭氧发生室内，生产出300ug/L以上浓度的臭氧化气体，导入需灭菌的设备或系统中。
5.用于工艺用水处理
对工艺用水可用臭氧发生器做终端灭菌。
6.对粉体原料与部分中药原料的灭菌
在密闭容器中通入臭氧，并利用容器中物料的翻动或搅拌作用对粉体原料与部分中药原料进行灭菌，解决了多年对粉体类或部分中药原料难以灭菌的问题。
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