钯靶材厂家带你了解靶材
- 时间：2022-09-03作者：醴陵市利吉升新材料有限公司浏览：168
钯靶材厂家带你了解靶材
什么是靶材？
靶材是制备薄膜的主要材料之一，比如镀膜靶材，通过磁控溅射，在适当的工艺条件下，溅射在基体上形成各种所需功能薄膜的溅射源。当然还有其它镀膜工艺，比如真空离子镀膜、蒸发镀膜等等电镀工艺。根据所需求工艺应用的不同，对靶材的种类选择也不同。所以说得简单一点，靶材就是真空电镀材料炉里的靶，你也可以简单理解为电镀材料的一种。
靶材就材质分类而言分为三大类：
1. 金属靶材 2.陶瓷靶材 3.合金靶材
在这里我们就不一一例举出这几种靶材材料的具体分类 品种，我们主要讲下主要含有贵金属的几种靶材，比如银靶Au、钯靶Pd、铂靶Pt、金靶等各种含有贵金属的靶材。
什么是贵金属靶材
贵金属靶材就是采用精炼、粉末冶金、压延加工或熔化锻造制造而成的贵金属靶材材料。是主要应用于半导体器件、存储用的硬盘、平面显示器等的布线和制备薄膜用的贵金属溅射靶材材料。广泛应用于集成电路和大规模集成电路。还有一些合金靶材用于磁记录，比如CoPd、CoPt等。
半导体器件
在贵金属靶材中其贵金属的纯度都在99.99%以上主要应用在半导体行业与大规模的集成电路中，是电子信息产业中不可或缺的重要材料之一。比如金靶材应用于磁控溅射镀膜，SEM金靶材用于扫描电镜SEM设备。贵金属靶材就形态品种而言根据行业应用的不同有颗粒状、丝状、块状、片状等形状尺寸大小不一，根据行业需求都是可以定做的。
为什么贵金属靶材对纯度要求这么高呢？主要是因为在半导体产业中，小小的芯片要处理的东西越来越多了，随着工艺的发展对其纯度要求也越来越高了。因为靶材的结晶粒子直径和均匀性被认为是影响薄膜沉积率的关键因素。
金靶材
贵金属靶材可以回收再利用吗？
贵金属靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或残料什么都是可以回收再利用的。比如金靶材、银靶材、钯靶材等都可以回收再利用。以ITO银靶材为例，生产加工时银靶材会被打穿，产生的丝状残料这些都是可以回收再利用的，废料上会沾染少量的铟，说是氧化用的，这种铟元素处理一下就可以了。所以含金、银、钯、铂、铑这些贵金属的靶材都可以回收再利用的，还有合金靶材之类的。
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