主要用途：
1、高纯主要用于电子工业，医学研究及临床诊断、激光器、检测仪器的校正气及配制其它特种混台气，在聚乙烯聚合反应中则用作调节剂。
2、固态用于冷藏奶制品、肉类、冷冻食品和其它转运中易的食品，在许多工业加工中作为冷冻剂，例如粉碎热敏材料、橡胶磨光、金属冷处理、机械零件的收缩装配、真空冷阱等。
3、气态用于碳化软饮料、水处理工艺的pH控制、化学加工、食品保存、化学和食品加工过程的惰性保护、焊接气体、植物生激剂，在铸造中用于硬化模和芯子及用于气动器件，
还应用于杀菌气的稀释剂（即用氧化乙烯和的混台气作为杀菌、杀虫剂、熏蒸剂，应用于医疗器具、包装材料、衣类、毛皮 被褥等的杀菌、骨粉消毒、仓库、工厂、文物 书籍的熏蒸）。
4、液体用作致冷剂，飞机、导弹和电子部件的低温试验，提高油井采收率，橡胶磨光以及控制化学反应，也可用作灭火剂。