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发布时间:2023-07-10
视频简介真空腔体测试腔材料加热处理探针台光学电学探针台
台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针,特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达<5Pa分子泵可达<-3Pa。真空信号连接处使用**级别真空电极信号接头,保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面,探针良好处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处,外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。三:主要技术要求 1.加热温度:高温型:高温~400℃ 高低温型 -190℃~400℃ 2.温控误差:±1℃
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